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【璞璘交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻机,支持7:1的技术指标,可对应线宽<10nm的NIL工艺。

1月前
【璞璘交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻机,支持7:1的技术指标,可对应线宽<10nm的NIL工艺。

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