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珠海突围半导体设备业 国内首台晶圆级多驱解离刻蚀设备面世

2月前
【珠海突围半导体设备业 国内首台晶圆级多驱解离刻蚀设备面世】5月23日,珠海恒格微电子装备有限公司发布国内首台晶圆级等离子多驱解离刻蚀设备,标志着国内高端半导体制造核心装备领域的重大技术突破。

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