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新凯来:已开发6大类半导体工艺和量检测装备

3月前
【新凯来:已开发6大类半导体工艺和量检测装备】在SEMICON China 2025 IC产业链国际论坛上,新凯来工业机器有限公司工艺装备产品线总裁杜立军表示,AI、智能驾驶等产业对算力需求及增长,推动半导体装备市场稳步增长。装备新技术演进方向是更高能量控制精度、更快硬件响应速度、更大工艺窗口,以射频/等离子体场为例,预计从7纳米到3纳米的演进过程中,会有10倍的能量控制精度提升,时延从10毫秒缩短到1毫秒的硬件响应速度提升。目前新凯来基于一代工艺、一代材料、一代装备的设计理念,已经开发了刻蚀产品、扩散产品、薄膜产品以及物理量测产品、X射线量测产品、光学量检测产品6大类工艺和量检测装备,覆盖先进逻辑和存储,支持向更先进节点演进。

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